平面度测量机

全自动平整度测量机 (WAFERCOM)

硅片的平整度测量设备

用途

测量晶片的厚度和平整度
相应的晶片尺寸 8寸/12寸
对应于保税晶片

特征

用非接触式传感器测量晶片厚度,翘曲,平整度等(上下夹)
(处理参数:GBIR,SBIR,SFQR,BOW / WARP等)
通过使用微型花岗岩(黑色云母)作为设备,我们利用天然石材特有的物理特性

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