产品信息
PRODUCTS
外观检查设备
晶片缺陷检查设备(外观检查设备)
化学晶片的缺陷检查设备
用途
相应的晶片尺寸 6寸～12寸
可以安装装载机侧面的15个卡盒，卸载机侧面的21个卡匣
根据NG的类型，NG项目被存储在指定的NG盒中
特征
- 通过边缘检查，传送检查，亮视野检查，暗视野检查，全自动检测晶片的针孔，裂纹，划痕，碎裂等
- 时间：约20秒/ 1片（周期时间）
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外观检查设备
化学晶片的缺陷检查设备
用途
相应的晶片尺寸 6寸～12寸
可以安装装载机侧面的15个卡盒，卸载机侧面的21个卡匣
根据NG的类型，NG项目被存储在指定的NG盒中
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