缺陷检查设备

FPD基板玻璃，柔性器件检查设备

特征

可以检查诸如玻璃和柔性膜的工件表面上的划痕，裂纹，碎片，不均匀的涂膜和异物等缺陷

它可以对应反射和透射方法

在2um到400um的分辨率范围内可检测

反也可以测量工件上涂膜的膜厚

※方法：光谱干涉法