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FOSB / FOUP自动包装设备 (MAP300)
自动包装设备(MP300)将晶片盒(FOSB)从操作员放置在装料位置(装载机部分)上的检验区域运输。检查区域通过主机通信进行FOSB检查。检查内容包括FOSB类型,晶片位置确认和片数等。在包装区域,进行一层或者两层的包装。
通过自动执行传统的人工目视检查和包装操作,减少人为错误,缩短工作时间和统一包装质量。
用途
半导体制造工艺之间的包装和运输包装
特征
- 装载机和卸载机的存储箱数量灵活
- 装卸的存储单元的数量可以设定,以减少操作员的工作量,提高效率。
- 可以使用专有技术检测和检查固有晶圆的BOX类型和数量。
- 标签可以贴在你指定的位置。
- 包硅胶可以被送入包装中,脱氧包装也是可能的。
产品规格规范
- 设备尺寸
- 3830D×2430W×2600H(检查和包装单元主体)
- 电源
- AC208V Φ3 50Hz 44KVA
- CDA
- 250NL/min
- N2
- 130NL/min
- 周期时间
- 約120~約270sec(根据设置的不同而不同。)