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ウェーハ洗浄装置

バッチ式 シリコンウェーハ洗浄装置

  • バッチ式 シリコンウェーハ洗浄装置

製品概要

受け入れ/ファイナル(最終)洗浄装置。

主な用途

  • バッチ式ウェーハ洗浄
  • 対象ウェーハサイズ: ~300mm (12インチ)
  • 450mmウェーハ対応

特徴

  • O3 / HF / SC1
  • 室温洗浄( O3 /水素水洗浄)
  • UFB (ウルトラファインバブル/ナノバブル)

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