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検査装置

ウェーハ欠陥検査装置(外観検査装置)

  • ウェーハ欠陥検査装置(外観検査装置)

製品概要

ケミカルウェーハの欠陥検査装置。

主な用途

  • 対象ウェーハサイズ: 6~12インチ
  • ローダー側15カセット、アンローダー側21カセットを設置可能
  • NG 品は NG の種類によって、指定した NG カセットへ収納

特徴

  • エッジ検査、透過検査、明視野検査、暗視野検査にてウェーハのピンホール・クラック・スクラッチ・カケなどを全自動にて検出
  • タクト: およそ 20sec / 1 枚(サイクルタイム)

ポリッシュドウェーハ欠陥検査装置

  • ポリッシュドウェーハ欠陥検査装置

製品概要

ポリッシュドウェーハの欠陥検査装置。

主な用途

  • 対象ウェーハサイズ: 6~12インチ
  • ローダー側15カセット、アンローダー側21カセットを設置可能
  • NG 品は NG の種類によって、指定した NG カセットへ収納

特徴

  • エッジ検査、透過検査、明視野検査、暗視野検査にてウェーハ端面のクラック・スクラッチ・カケなどを全自動にて検出。
  • タクト: およそ 20sec / 1 枚(サイクルタイム)

全自動平坦度測定機 (WAFERCOM)

  • 全自動平坦度測定機 (WAFERCOM)

製品概要

シリコンウェーハの平坦度測定装置。

主な用途

  • ウェーハの厚み、平坦度測定を行います
  • 対象ウェーハサイズ: 8インチ/12インチ
  • 貼り合わせウェーハに対応

特徴

  • 非接触式センサー(上下挟み込み)にてウェーハの厚み、反り、平坦度等を測定(処理パラメーター: GBIR 、 SBIR 、 SFQR 、 BOW / WARP 等)
  • 装置にマイクログラナイト(黒ミカゲ石)を使用することで天然石特有の物理的特性を利用

FOSB / FOUP 外観検査装置 (MAP300)

  • FOSB / FOUP 外観検査装置 (MAP300)

製品概要

ウェーハ搬送・出荷用 BOX 検査装置。

主な用途

  • ウェーハ搬送・出荷用 BOX 検査装置
  • 各種 FOSB / FOUP タイプの BOX に対応

特徴

  • 各種 FOSB / FOUP タイプを自動検出
  • インフォパッド/ RFID 自動認識
  • FOSB / FOUP 内ウェーハ在荷確認

欠陥検査装置

  • 欠陥検査装置

製品概要

FPD 用基板ガラス、フレキシブルデバイス用検査装置。

主な用途

  • 対応ワークサイズ
    最少: 100㎜ × 100㎜
    最大: 200㎜ × 300㎜

特徴

  • ガラスやフレキシブルフィルムなどのワーク表面の傷、ワレ、欠け、塗布膜のムラ、異物等の欠陥検査が可能
  • 反射方式、透過方式の両方に対応
  • 分解能 2um ~ 400um の範囲で検出可能
  • 反射方式、透過方式の両方に対応
  • 分解能2um~400umの範囲で検出可能
  • ワーク上の塗布膜の膜厚測定も可能
    ※方式:分光干渉法

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