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フィルム洗浄装置

R to R 洗浄装置

製品概要

FPD の洗浄装置の開発で培った洗浄技術と高精度の搬送技術で多様なデバイスのパーティクルの除去を可能にしています。

主な用途

  • 高精密フレキシブルデバイスの洗浄
  • 高精密フレキシブルデバイスの現像・エッチング・剥離などのフォトプロセス

特徴

  • 最大 2000mm 幅までのフィルムが搬送可能
  • 多様な洗浄ツール(ディスクブラシ・ロールブラシ・二流体・スリット・ MS ・ US 超高圧ジェット 粘着ローラー EUV ・常圧プラズマ)に対応

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