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FOSB / FOUP自動包装装置 (MAP300)

  • FOSB / FOUP自動包装装置 (MAP300)

製品概要

ウェーハ搬送・出荷用 BOX 自動包装装置。

主な用途

  • ウェーハ搬送・出荷用 BOX 自動包装装置
  • 各種 FOSB / FOUP タイプの BOX に対応

特徴

  • FOSB / FOUP を全自動にて包装する
  • 各種包材に対応
  • 自動ラベル貼り機構

パッカー/アンパッカー

製品概要

液晶用ガラス基板・カラーフィルターの開梱・梱包を行う装置。

主な用途

  • FPD 用ガラス基板の受入・出荷工程
  • FPD 用カラーフィルターの受入・出荷工程

特徴

  • ハードケース・ PP-BOX ・高密度積層パレット・デンスパックなど、あらゆる梱包形態に対応

ペリクルマウンター

製品概要

ペリクル(フォトマスク用防塵フィルム)の自動装着装置。

主な用途

  • 半導体デバイスの露光工程

特徴

  • 設定された条件に従い、フォトマスクへのペリクルの装着を全自動で行います
  • 装着後のフォトマスクのクリーンロボットが回収し、もとにカセットに収納します

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