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端面洗浄装置

端面洗浄装置(エッジリンス)

  • 端面洗浄装置(エッジリンス)

製品概要

コーティング後の基板端面・裏面に回り込んでしまう塗布剤を洗浄する装置。

主な用途

  • レジスト塗布後の洗浄工程
  • ベーク前工程

特徴

  • 基板表面への洗浄液飛散防止機構
  • 減圧乾燥装置との併用により端面洗浄効果をアップさせることが可能

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