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現像装置

枚葉式/スピン式現像装置

  • 枚葉式/スピン式現像装置

製品概要

基板及びフィルム上のレジストの現像処理を行う装置。

主な用途

  • フォトリソプロセス

特徴

  • シャワー・スプレー・ディップ (Dip) など、様々なエッチング方式に対応可能
  • 薬液管理システムの提案も可能(ランニングコストの削減)

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