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コーター

スピンコーター

製品概要

基板上にレジスト・ PI などの材料を塗布し、高速回転によりコーティングする装置。

主な用途

  • レジスト塗布
  • 絶縁膜(ポリイミドなど)塗布
  • 高粘度材料塗布 (800cps / 1000cps / 2000cps)

特徴

  • 大型サイズまでの対応可能( G6 / G8 / G10用マスク)
  • 高粘度材料への対応可能

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