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炉(ベーク装置)

ベーク装置

  • ベーク装置

製品概要

コーティング後のレジストの乾燥、洗浄後の乾燥処理をする装置。

主な用途

  • レジスト塗布後の乾燥工程
  • ワーク洗浄後の乾燥工程

特徴

  • 枚葉方式から多段式まで様々な仕様に対応可能
  • VCD ・端面洗浄(エッジリンス)・ CP と合わせて提案も可能

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