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製品情報

製造プロセスから探す

研削・研磨装置

  • 研削装置研削装置

    シリコンウェーハや SiC 、サファイアなど半導体基板の研削を高精度に行う装置

  • 研磨装置研磨装置

    シリコンウェーハの鏡面仕上げ用装置

フォトファブリケーション

洗浄装置

  • ウェーハ洗浄装置ウェーハ洗浄装置

    ウェーハ上に付着した各種パーティクル(ゴミ)を洗浄し除去する装置

  • ガラス基板洗浄装置ガラス洗浄装置

    電子材料用ガラス基板上に付着したミクロン単位のパーティクルを洗浄し、除去する装置

  • フィルム洗浄装置フィルム洗浄装置

    フィルム (PET, PEN) ・極薄ガラスなどの高精密フレキシブルデバイスの洗浄装置

コーター

  • コーターコーター

    各種基板上に薬液や塗料などを均一に塗布(コーティング)する装置

  • 減圧乾燥装置減圧乾燥装置

    コーティング後の基板を減圧状態にして乾燥させる装置

  • 端面洗浄装置端面洗浄装置

    コーティング後、基板の端面・裏面に付着した汚れを洗浄により除去する装置

現像・エッチング・剥離

  • 現像装置現像装置

    基板上に塗布されたレジストにパターン露光した後、現像処理をする装置

  • エッチング装置エッチング装置

    基板上に付着したダメージや形成された薄膜などの除去もしくは加工する装置

  • 剥離装置剥離装置

    エッチング工程後にレジストを、薬液等により剥離する装置

炉(ベーク装置)

  • 炉(ベーク装置)炉(ベーク装置)

    コーティング後のレジストの乾燥、洗浄後の乾燥処理をする装置

その他の製品

  • 精密印刷装置精密印刷装置

    印刷技術を利用し、各種の基板に電子回路等を形成する装置

  • 外観検査装置外観検査装置

    シリコンウェーハや FPD 用ガラス基板などのキズ、欠け、ムラなどの欠陥を自動的検査する装置

  • FAFA

    シリコンウェーハや FPD 用ガラス基板などの製造工程の自動化/省人化のための装置

  • 環境関連装置環境関連装置

    各種製造プロセスで発生する排水の回収、再利用装置

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東京工場でのデモンストレーション

ミクロ技研株式会社は、最新鋭のテクノロジーの提供を通じ、製造現場の技術革新と生産の向上に貢献します。

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