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필름 세정장비

Glass 세정장비

제품개요

FPD 세정 장비의 개발로 길러온 세정 기술과 고정도의 반송 기술로 다양한 디바이스의 파티클 제거가 가능합니다.

주요 용도

  • 고정도 플렉시블 디바이스의 세정
  • 고정도 플렉시블 디바이스의 현상・에칭・박리 등의 포토프로세스

특징

  • 최대 폭2000mm까지의 필름 반송 가능
  • 다양한 세정 툴(디스크 브러시・롤 브러시・이류체・슬릿・MS・US 초고압 제트 점착롤러 EUV・상압 플라즈마)에 대응

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