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코터

Spin Coater

제품개요

기판 위에 Resist・PI 등의 재료를 도포하여, 고속회전으로 코팅하는 장비

주요 용도

  • Resist 도포
  • 절연막(폴리이미드 등)도포
  • 고점도 재료 도포 (800cps / 1000cps / 2000cps)

특징

  • 대형 사이즈까지 대응 가능(G6 / G8 / G10용 마스크)
  • 고점도 재료의 대응 가능

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