MICRO ENGINEERING INC.

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제품 정보

製造プロセスから探す

연삭・연마장비

  • 研削装置연삭장비

    실리콘 Wafer와 SiC, 사파이어 등 반도체 기판의 연삭을 고정밀하게 실행하는 장비

  • 研磨装置연마장비

    실리콘 Wafer의 경면마무리용 장비

Photofabrication

세정장비

  • ウェーハ洗浄装置Wafer 세정장비

    Wafer 위에 부착한 각종 파티클(particle)을 세정하여 제거하는 장비

  • ガラス基板洗浄装置Glass 세정장비

    전자재료용 Glass기판 위에 부착한 미크로단위의 파티클(particle)을 세정하여 제거하는 장비

  • フィルム洗浄装置필름 세정장비

    필름 (PET, PEN)・초박판형 Glass 등의 고정밀 플렉시블 디바이스의 세정장비

코터

  • コーター코터

    각종 기판위에 약액이나 도료 등을 균일하게 도포(코팅)하는 장비

  • 減圧乾燥装置감압건조장비

    코팅 후의 기판을 감압상태로하여 건조시키는 장비

  • 端面洗浄装置단면세정장비

    코팅 후, 기판의 단면・이면에 부착한 오염물을 세정으로 제거하는 장비

현상・에칭・박리

  • 現像装置현상장비

    기판위에 도포된 레지스트 패턴 노광 후, 현상처리를 하는 장비

  • エッチング装置에칭장비

    기판위에 부착한 데미지나 형성된 박막 등을 제거 혹은 가공을 하는 장비

  • 剥離装置박리장비

    에칭공정 후에 레지스트를 약액 등에 의해서 박리하는 장비

베이크 장비

  • 炉(ベーク装置)베이크 장비

    코팅 후의 레지스트 건조, 세정 후 건조처리를 하는 장비

기타 제품

  • 精密印刷装置정밀인쇄장비

    인쇄기술을 이용하여, 각종 기판에 전자회로 등을 형성하는 장비

  • 外観検査装置외관검사장비

    실리콘 Wafer나 FPD용 Glass기판 등의 스크래치, 깨짐, 얼룩(MURA)등의 결함을 자동적으로 검사하는 장비

  • FAFA

    실리콘 Wafer나 FPD용 Glass기판 등의 제조공정 자동화/성인화를 위한 장비

  • 環境関連装置환경관련장비

    각종 제조 프로세스에서 발생하는 배수의 회수, 재사용 장비

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