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抛光设备

全自动化CMP设备 (MGP808XJ)

  • 全自動CMP装置 (MGP808XJ)

产品摘要

全自动CMP设备“MGP808XJ”是Lapmaster SFT公司生产的“LGP-808XJ”的后继产品。通过采用我们新开发的抛光头,我们正在改进晶片表面的GBIR和SFQR。

主用处

  • 由于8轴抛光头,3台抛光台,实现了高吞吐量
  • 与清洗机结合可以干入/干出
  • 运输方式是边缘夹/边缘接触法

特点

  • 由于8轴抛光头,3台抛光台,实现了高吞吐量
  • 运输方式是边缘夹/边缘接触法
  • 与清洗机结合可以干入/干出

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