MICRO ENGINEERING INC.

最先进的解决方案公司 超微细技研

日本語 | English | 中文 | 한국
お問い合わせはこちらからお電話フォーム資料請求FAQ
首页 > 产品情报  > 示范指南
製品情報

示范指南

位于东京工厂的研发中心负责下一代设备技术的开发。
在研发中心,我们积极与广泛的合作伙伴公司共同发展,不仅包括我们自己的发展,还与工业界,学术界和政府联盟。

我们还将在研发中心使用测试设备展示设备,性能/过程评估,样品测量等,请不要犹豫,告诉我们。

東京工場について詳しくはこちらデモンストレーションのお申し込み・お問い合わせ

示范评估机的介绍

磨碎

  • CMG-802XJCMG-802XJ
    • 磨碎磨刀石可以磨粗糙削#500~、完成研磨#8000、最终可以磨到#30,000
    • 相应的晶片尺寸 8寸~12寸
    • 用3卓完成粗糙削⇒完成磨碎⇒抛光
    • 抛光可以对应干/湿
    • 磨碎实验可达30微米厚度
  • DMG-6011VDMG-6011V
    • SiC、蓝宝石、GaP等的对难切削材料进行各种磨碎实验
    • 相应的晶片尺寸 4寸~12寸
    • 不仅可以测试圆形晶片,还可以测试正方形等特殊形状的晶片
    • 我们准备磨刀石#180~#8000

抛光

  • MGP-708XJMGP-708XJ
    • 8轴抛光头3台抛光台可以做到粗糙⇒完成
    • 相应的晶片尺寸 8寸~12寸
    • 平整度100纳米以下
  • MGP-712MGP-712
    • 12寸晶片对应
    • 抛光测试可达200微米厚度
    • 采用双轴气缸系统,修整器安装在1轴上,也可以加工中进行修整
    • 我们准备各种陶瓷头,气囊头,抛光布
  • MGP-15S IMGP-15S I
    • 单面研磨/抛光机
    • 相应的晶片尺寸 1寸~5寸
    • SiC、蓝宝石、GaP等对难切削材料进行各种磨碎实验

清洗

  • リフトオフ装置剥离设备(HPMJ)
    • 超高压微喷清洗设备
    • 相应的基板尺寸 100x100毫米~200x200毫米
    • 不仅可以处理纯水,还可以处理有机溶剂
  • R to R 洗浄装置R to R清洗设备
    • 相应的胶卷尺寸 宽度1500毫米 长度250毫米
    • 运输速度0.1至5.0毫米 运输张力20至400N
    • 不仅可以用于清洗,还可以用于测试各种照相制造过程

蚀刻

  • スリットコーター狭缝涂布机
    • 相应的基板尺寸 400 x 500毫米
    • 可以结合旋转涂布机示范机进行狭缝和旋转工艺的实验
  • オープン型スピンコーター打开类型旋转涂布机
    • 相应的基板尺寸 150×150毫米 ~ 200×200毫米
    • 最大旋转速度 5000rpm
    • 也适用于高粘度抗蚀剂等
  • クローズ型スピンコーター封闭式旋转涂布机
    • 相应的基板尺寸 270×270毫米 ~ 300×400毫米
    • 最大旋转速度 1200rpm
    • 理想的测试薄膜厚度均匀性

烘干

  • ホットプレート热板
    • 相应的基板尺寸 50×50毫米 ~ 300×400毫米
    • 温度: RT ~ 200℃
    • 结合涂布机的示范机,可以在涂布后进行烘烤实验

精密印刷

  • MC200MC200
    • 相应的基板尺寸 宽度200×长度200×厚度20至700微米
    • 凹版胶印和柔版印刷实验都是可能的
  • 精密印刷機精密印刷机
    • 相应的基板尺寸 宽度550×长度650×厚度20至700微米
    • 凹版胶印和柔版印刷实验都是可能的
    • 运行中安装的直线电机
    • 对于需要高位置精度的印刷过程的实验,例如通过将对准照相机安装在平台和平板上来堆叠图案,这设备是最佳的

视力检查

  • WafercomWafercom
    • 相应的晶片尺寸 12寸
    • 测量内容:晶片厚度,平整度,翘曲,CBIR、SBIR、SFQR
    • 测量范围 770微米至1500微米
    • 键合晶片和石英/玻璃晶片的测量也是可能的
東京工場について詳しくはこちらデモンストレーションのお申し込み・お問い合わせ

製品を探す

从产品类型搜索

从制造过程中搜索

東京工場でのデモンストレーション

Micro Engineering Inc.将通过提供最先进的技术为生产现场的技术创新和生产的改善做出贡献。

閉じる

通过电话联系我们

销售本部(东京)
+81-3-3668-8131
东北办事处
+81-24-953-6631
九州办事处
+81-96-235-7200